●日立製 原子間力顕微鏡:AFM5500MⅡ
ナノレベルの形状や表面粗さの測定ができます。最大資料サイズΦ100×20mm、2kgまで。
測定範囲は200×200μm、上下15μmまで。
観察例(金型のレーザー加工面)
測定例(回折格子の断面)